超純水設備和純水設備都是水處理設備，但他們也有許多不同之處。

首先是原理不同，超純水設備是在反滲透技術的基礎上，添加了EDI系統(tǒng)和終端拋光處理技術，有些還有深度離子除鹽、超濾和UV光氧化作用設備。盡可能徹底地去除天然水中常見的可溶性無機物、有機物、顆粒物、微生物、可溶性氣體等雜質。而純水設備采用反滲透技術，其工作原理是對水施加一定的壓力，使水分子和離子態(tài)的礦物質元素通過反滲透膜。溶解在水中的絕大部分無機鹽(包括重金屬)、有機物以及細菌、病毒等無法透過反滲透膜，從而使?jié)B透過的純凈水和無法滲透過的濃縮水嚴格地分開。

其次是水質不同，超純水設備處理過后的水電阻率可達到18MΩ·cm(25℃)的水，這種水除了水分子以外，將不會含有任何的雜質。而純水設備的出水水質，一般達到新版的《生活飲用水新標準》即可。

最后是工藝不同，超純水設備常用的工藝方法有蒸餾法、反滲透法、離子交換法、過濾法、吸附法、紫外氧化法等，將水的純化過程大致分為4大步，預處理(初級凈化)、反滲透(生產(chǎn)出純水)，離子交換/EDI裝置(可生產(chǎn)出18.2MΩ·cm超純水)和終端拋光處理(生產(chǎn)出符合特殊要求的超純水)。而純水設備采用反滲透工藝，對水施加的壓力，水通過孔徑只有0.0001微米反滲透膜，過濾掉水中0.02-0.4或0.4-1微米的病毒、細菌等雜質。

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